개요
기초과학에 바탕을 둔 소재 및 소자와 관련된 연구개발 및 생산 공정에서 표면 분석, 결정 구조 분석, 전기적 특성 분석, 광학적 특성 분석 그리고 고장원인 분석 등의 분석지원과 물성과학 분야의 공동연구를 수행합니다.
대상품목
대상품목 | 분석장비 | 분석기능 | 비고 |
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표면 형상 분석 | SEM | 물질의 표면/단면 형상 및 크기, 두께측정과 EDX를 통한 물질의 성분 분석 가능(x30~x100,000) | |
Tabletop Microscope | 물질의 표면 형상을 저진공에서 간편하게 분석 가능(x20~x10,0000) | ||
AFM | 물질의 표면 특성을 원자 단위까지 탐침을 이용하여 측정 분석 | ||
전기 특성 분석 | Hall effect | 비저항, 저항형태 등 전기적 특성 분석 | |
광학 특성 분석 | PL mapper | 웨이퍼의 발광특성의 균일도 분석 | |
Low-Temp PL | (상온~저온)에서 온도를 변화시키며 물질의 발광 특성을 분석 | ||
Raman | 물질의 조성 및 상분석 | ||
결정 구조 분석 | XRD | X-선을 이용하여 bulk결정 물질혹은 박막 물질의 결함 및 구조를 비파괴 방식으로 측정 |
물성분석장비
SEM
Hall Effect System
XRD
AFM-Raman
물성분석분야 분석문의
- 담당자 ㅣ 김제근 연구원
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